公司现已推出可用于使用SiC晶圆的家电和汽车功率元件量产的离子注入设备“IH-860DSIC”。吞吐量为30枚/小时(支持直径为75mm-150mm的晶圆),“现已得到元件厂商的充分肯定,完全可用于量产”(Ulvac公司)。面向SiC元件量公司档案
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公司介绍 公司现已推出可用于使用SiC晶圆的家电和汽车功率元件量产的离子注入设备“IH-860DSIC”。吞吐量为30枚/小时(支持直径为75mm-150mm的晶圆),“现已得到元件厂商的充分肯定,完全可用于量产”(Ulvac公司)。面向SiC元件量
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