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标先(BOVCEE) SS III 直流磁控溅射电源

2025-01-05 19:099320询价
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产品详情

唐山标先电子有限公司 - 品牌介绍

技术实力** 品牌质量保证

唐山标先电子有限公司(原遵化市三石电子技术研究所)创建于1998年,是一家集研发、制造、营销于一体的科技型企业。公司坐落于地理位置优越、交通便利、环境优美的燕山南苑——遵化市。公司占地面积12000平米,员工50余名。产品已经分布全国各地,且远销于国外。
多年来,标先始终专注于真空等离子、电化学等材料表面处理领域的电气设备及相关工艺研究。坚持以科技创新 来推动我们产品的更新,有力的提升了公司在这一领域的超前地位。目前,公司可以生产九个类别,七十余款电源产品及电子设备。其中高频电源功率已延伸至兆瓦级。随着公司研发队伍的壮大和潜心努力,公司将继续推出技术**的新一代产品。
“稳定、创新”是我们的准则,并且坚持始终如一的为广大客户提供高品质以及全方位的服务。我们已经在全国建立了完善的营销网络和服务体系,确保为客户提供方便、快捷、周到的全程服务。
我们将继续推出一系列**和创新的产品,为我们的共同发展而做出更大贡献。

SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出,电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时,溅射靶工作于高频率间歇状态,使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间,有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒,适用于反应膜层环境使用。

电源功率范围

10-120KW

输入电源

AC380V三相四线制 50-60HZ±10

输出方式

脉冲

脉冲宽度

10-90

输出电压

空载800V[峰值电压]

灭弧时间

3uS

输出电流稳定率

0.5

冷却方式

10-60KW风冷 60-120KW水冷

使用环境

环境温度 0-40

环境湿度 相对湿度≤85

空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质

水温 20-30

压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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