宏诚GPIXP/D ZYGO6寸干涉仪 激光球面干涉仪

产品品牌:ZYGO

产品概述:ZYGO系列激光干涉测量仪,运用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,GPI系列激光干涉测量仪曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析.

GPI系列激光干涉测量仪,运用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析。可应用于:

平面和球面的面形检测

平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差

光学材料均匀性测量

角锥角度和面形偏差测量

精密盘片质量检验

三平板测量

双球面测量

静态干涉条纹判断

泽尼克多项式分析

球面曲率半径测量

GPI系列高精度激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪,具有光学器件少,精度高,易于使用等特点。光源为低功率氨氖激光,光束扩展为1英寸(25mm)至32英寸(810mm)直径,自干涉仪输出。安装在输出孔之前的标准透射器件将部分激光反射回干涉仪,形成参考波面。余下激光穿过透射器至样品。根据光束在样品表面直接反射或透射后再反射回主机,形成测量波面。根据参考波面和测量波面干涉产生的干涉条纹,可以测量样品的表面面形和传输波面质量,样品为平面或球面。如果为非平面和非球面,则需通过加装补偿片等手段进行测量。

GPI系列干涉仪采用精密移相技术和高分辨率CCD接收器件(可达2048X2048),配合功能强大的MetroPro?软件可以