涂层靶材是通过磁场控制溅射、多电弧离子镀或其他类型的薄膜沉积系统在适宜的工艺条件下沉积在基板上形成各种有用膜层的沉积源。简而言之，靶材是一种受到高速荷能粒子轰击的材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的伤害破坏反应。
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