范围，可在宽广的阻抗范围内提供 0.65% 的基本
准确度。它还可以选配材料测量选件以执行温度特
征分析，并能够直接得到介电常数和导磁率读数。
特点
E4991B 阻抗分析仪 1 MHz - 3 GHz
Keysight E4991B 阻抗分析仪是表征和评测电子元
器件、半导体器件和材料的理想解决方案。
3 种可升级的频率选件：1 MHz 至 500 MHz/1
GHz/3 GHz
±0.65% 基本准确度和 120 m? 至 52 k? 阻抗范
围（10% 测量准确度范围）
测量参数：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D
、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、
Idc1（1. 需要选件 001）
内置直流偏置（选件 001）：0 V 至 ±40 V，0 A
至 ±100 mA
10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4
条迹线
数据分析功能：等效电路分析、极限线测试
介电/磁性材料测量（选件 002）：|εr|、εr'、
εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(
μ)
提供温度特征测量（选件 007）和可靠的晶圆上测
量（选件 010）
材料测量选件提供温度特征分析功能（选件 007）
，并能够直接得到介电常数和导磁率的读数（选件
002）。
探头台连接套件（选件 010）可以在高达 3 GHz
的频率范围内提供准确的晶圆上或微型元器件阻抗
测量解决方案。
E4991B 支持多款测试附件，让测量变得简单而可
靠。
无论您是从事研发、质保还是质检工作，E4991B
都可以帮助您出色地表征和测试电子元器件、半导
体器件和材料。
在材料测量方面，E4991B 与 N1500A-005 材料测
量套件相结合，能够非常容易地完成从设置夹具到
生成报告的整个测量过程（高达 1 GHz）
