氦质谱正压检漏是指:
在被检系统中,充入高于一个大气压的一定氦气浓度的气体采用氦质谱检漏仪,用吸枪 在大气环境条件下获得示漏氦气, 进行检漏的方法。
其漏率检测范围1*10-3——1*10-8Pam3/s
被检试件一端充压或不充压,另一端抽成真空并与
何阶段都可以作真空检漏,所以在氦质谱检
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氦质谱正压检漏是指:
在被检系统中,充入高于一个大气压的一定氦气浓度的气体采用氦质谱检漏仪,用吸枪 在大气环境条件下获得示漏氦气, 进行检漏的方法。
其漏率检测范围1*10-3——1*10-8Pam3/s
被检试件一端充压或不充压,另一端抽成真空并与
何阶段都可以作真空检漏,所以在氦质谱检
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