英福康UL1000(fab)氨质谱检漏仪移动式氨检漏仪专门设计用于满足苛刻的工业检漏要求:具有耐用性强、测试灵活、灵敏度高、启动快,响应准确迅速,系统安全可靠等特点。
*半导体加工工具上的维护工作
*工艺气体系统的检测和安装
*部件检漏
*需高泵抽速、高灵敏度和清洁测试条件的应用
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