供应半导体芯片无尘洁净烘箱

1、SUS3041.5mm不锈钢板，全全焊接工艺;

2.箱体内风道设有洁净进风口和高效过滤器。可采用通风和不通风方式，保证箱体内微正压，保证污染物不能进入箱体内;

3、高效过滤器洁净室HEPA过滤器结构，可对箱内气体进行单向过滤和循环过滤。根据使用要求，可满足洁净等级ISO5级(国标100)、ISO6级(国标1000)、ISO7级(国标10000)等不同等级的需要。

4、配置自动充氮装置，自动开关挡板充氮烘烤;

5、新开发触摸屏操作系统，配高精度PID主控控制器，控温精度±0.1℃，自动恒温。可保存公式、查看温度曲线、导出温度数据等;

6、过温保护器、电机过载保护器、蜂鸣器、故障指示灯、无保险丝开关。