既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水，是一般纯水设备很难达到的程度，通常采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换（抛光）、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法。
1.半导体、单晶硅、集成电路、超大规模集成电路,显象管、触摸屏、液晶显示,高精度线路板,光学、光电类器件,各种电子器件,微电子工业、IC 芯片封装行业,太阳能、LCD清洗等。
2.医药行业用水，生物、生化实验室用水,制药行业,无菌、无热源注射用水、制剂工艺用水，医院血液透析用水、生化分析用水、输液医药用水等。
3.热电厂用水处理、冶金工业用水处理、航天工业、汽车工业等.
4.制取热力、火力、涡轮发电锅炉用水.
