精确扫描工件粗糙度及轮廓形状的测量系统

当机械零件的边缘几何尺寸至关重要时，就必须对它们进行精确的、可复现的测量。例如，在燃料喷射系统中，提供密封性的边缘几何尺寸必须加工得极其精密，以提高喷射燃料的准时性，并使泄漏的可能性降至最小。

为了实现某些应用功能，有时需要对工件边缘进行小至5μm的倒棱加工。为了在生产检测中，通过测针的一次性触测，实现对边缘几何尺寸精确的、可复现的测量，Hommel Etamic公司推出了一种纳米扫描粗糙度及轮廓形状测量系统。该系统能对工件边缘进行微米级检测，同时还能确定构成边缘的两个表面的粗糙度。该系统还能评估轮廓特征（如半径和角度），且能达到20nm的重复测量精度。

除了检测边缘以外，该系统还能确定由边缘毛刺造成的凸起，这些毛刺是在加工过程中产生的，它们会削弱边缘功能。该测量系统配备的高分辨力（0.6nm）激光干涉仪可以实现对这些微小毛刺的纳米扫描检测。有时，尽管这些毛刺的高度只有1－2μm，但当配合间隙仅为1μm时，一个微小毛刺就可能造成配合不良的问题。

在接触测量时，金刚石测针可将工件表面测量值传输到激光干涉仪中，接触式测头可与激光干涉仪相互配合进行检测。为了避免采用数学方式滤除由驱动测量运动的电机产生的机械噪声，纳米扫描测量系统配备了一个可进行机械滤波的驱动装置，该装置可消除电气噪声和任何机械噪声。