金刚石纳米尺度制造技术

       由元素六有限公司与Strathclyde大学的英国皇家物理学会的光子学研究院联合主导的微加工金刚石装置开发已获得了完全的成功。由英国贸易与工业部 部分出资赞助的MIDDI项目的目标是，发展世界领先的金刚石微电子器件制造技术，提供给欧洲企业与日本和美国的竞争优势。
       MIDDI的重点是高度微观和纳米尺度制造技术工具箱的开发，这种工具箱可被用于开发下一代，基于人造金刚石单晶的高频、高能电子器件。元素六公司已经在化学气相沉积法制造电子器件等级人造金刚石制造业取得了世界领先。MIDDI大大加深了这一领先。
       英国皇家物理学会的作用是提供在等离子腐蚀技术方面的专业知识，制造装置时要求用到这些定义精确的表面特征的专业知识。该机构创建于1995，现已成为材 料腐蚀专业知识的中心，并且处理了一些传统意义上难以解决的材料。该机构的研究兴趣包括半导体材料与器件,实践的,全固态激光发生器,微观发光二极管阵列 和各种各样的应用，特别是在生物光子学。
      担任英国皇家物理学会的协理董事的Prof Martin Dawson评论到“MIDDI工程已经成为一个英国大学和工业能够成功地合作开发新技术的经典案例。元素六公司提出工程要求和提供高等级的受控掺杂特征 金刚石结构;大学通过开发一种新颖的干刻蚀方法来满足其要求，这是共同获得专利的。这打开了通往真正可制造金刚石电子器件的道路，同时也为一大群新技术扩 展了定义，其中包括金刚石电子学，借助于元素六公司的支持，Strathclyde大学现在已获得了显著的地位。
      这个工程已经在三个领域获得显著的成果，这将帮助元素六公司支持金刚石制造放射电子器件的开发。首先，改善了具有在原子级仍然低粗糙度表面的基底和外延层 的合成与加工技术。制造高精度纳米尺度的金刚石层的能力是依靠许多复杂的合成和加工步骤。对于一些高频放射电子器件，一些单层的厚度要求仅为几纳米。另 外,这些层需要原子级表面光滑的和极其的清晰的掺杂剖视图。
     其次,元素六公司现在能够在纳米尺度上沉积硼掺杂金刚石薄层.为有源开关提出的装置观念是基于金刚石，就像三角金属半导体场效应晶体管使用这样的薄层夹在 二层不掺杂的纯金刚石层以支持晶体管作用一样.最后,MIDDI已经导致一种健全的和可再生的适于晶体管装置制造的干刻蚀技术的产生。
     这些成果为元素六公司新的子公司，Diamond Microwave Devices Ltd成立打下了基础，该子公司的目标是开发世界第一个的商用高频高能金刚石晶体管。在MIDDI标准下发展的技术也可使应用于其他领域的高级金刚石技术 受益，例如用于辐射探测器和微观视觉装置。