日本THOMPSON “高精密定位工作台TX”

    日本THOMPSON开始销售定位精度是过去产品1/5的滚动导轨式定位工作台“高精密定位工作台TX”。定位精度根据行程长度为3μ～8μm。由工作台、AC伺服电机、驱动器等组成的套装价格从182.1万日元（约合人民币14万元）起。

　　工作台采用振 动衰减特性良好的铸铁，内装刚性高、摩擦小的滚动方式线性滑轨“Linear Roller Way Super X”。此外还通过使用分辨率达0.016μm的高精度线性编码器、直接控制移动工作台的位置信息，使重复定位精度、位移平行度分别达到过去产品的1/4、1/3。

　　由于采用滚动导轨方式，圆头螺钉等零件可以使用量产产品，降低了价格。另外，由于该方式不需要供气气源，因此还具有可减少营运成本的优点。