1 概述
图1 闭环振动主动控制系统
2 振动主动控制的基本方法
(1)
式中,A—系统矩阵;
H(s)=C(sI-A)-1B+D (2)
式中,I——单位矩阵。
图2 状态反馈的系统输入-输出关系
u(s)/u(s)=F*(sI-A)-1B (3)
若采用动态输出反馈
图3 输出反馈的系统输入-输出关系
3 振动主动控制技术的应用
图4 空气弹簧隔振系统
振动同温度和污染构成超精密加工的三大重要环境,为了实现亚微米级加工“HCM-1超精密加工车床”采用空气弹簧隔离了车床与地面的接触,如图4所示。理论研究和实验表明,该隔振系统的性能指标达到了国际水平,垂直方向系统固有频率f=2Hz,水平y方向系统固有频率f=1.12Hz,水平x方向系统固有频率f=1.0Hz,床身基座自动调整水平误差小于4"。为了进一步提高超精密加工车床的加工精度,在利用空气弹簧进行振动控制的基础上,采用如图5所示的主动控制,
图5 振动主动控制框图
即在床身的四个角上分别安装有传感器和作动器,该系统的频域方程为
Y=YTU+B (5)
J=YTQY+UTRU
U=-(TYQT+R)-1TYQB
无控制 有控制
图6 脉冲响应


