日本成功开发10纳米以下金属研磨抛光技术

日本FDK公司与福岛大学近日合作成功开发出了精度为10纳米以下的金属表面抛光技术，该技术主要利用含有铁的特殊液体和磁性对金属等表面进行加工，除平面工件外，还可对凹凸型工件进行抛光处理。主要服务对象为光学零部件企业和模具企业。

    这种特殊的液体被称为磁束（KURASUTA），是含有直径1微米的铁球体和直径10纳米的氧化铁的油性混合液体，利用永磁磁铁施加磁性形成微小的棒状固体作为刷子，从而对抛光工件进行研磨加工。目前FDK公司已经向市场投放可加工直径为3厘米以下工件的小型抛光机，未来拟向市场投放十几厘米的大型设备。