基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关研制成功

近日，国家“863”专家组在北京主持召开了

　　“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目验收会，该项目是由上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的。专家们在认真听取了项目负责人的汇报后，审查了有关研制报告、技术报告、测试报告等材料。专家们认为：课题组全面完成了合同任务，同意通过该项目的验收。 

　　“基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关”是基于“多路对多路无阻塞机械光开关”等多项专利技术，利用MEMS技术制备微电磁执行器，采取优化的Benes网络结构，以2×2和4×4光开关为基本单元，构成的16×16阵列光开关，具有运动部件少、可靠性高和稳定性强等特点。经上海科技查新咨询中心查新检索确认，该项目所研制的16×16阵列光开关的性能指标达到了国际同类产品的先进指标，研究成果具有新颖性。

　　同时，该项目在研制过程中特别重视对16×16阵列光开关中2×2和4×4光开关器件的可靠性和稳定性工艺技术的深入研究，实现了2×2和4×4MEMES光开关系列，具备向产业化应用的工艺技术条件和能力。