超精磨削是利用砂轮工作面上可以修整出大量等高的磨粒微刃这一特性得以实现的。这些等高磨粒微刃可从工件表面切除具有微观缺陷和微观尺寸形状误差的微小余量，因此可获得很高的磨削精度，此外，由于等高磨粒微刃的大量存在，在磨削用量适当的前提下，可在加工表面留下大量极微细的切削痕迹，从而获得很低的表面粗糙度值。由于在无火花光磨阶段存在明显的摩擦、滑挤、抛光和压光作用，故可使表面粗糙度值进一步降低,必须做到下面几点：
1) 床身导轨的检测与修刮
床身V形导轨经检修后应达到以下精度要求：垂直平面内不直度≤0.01mm/m;水平面内不直度≤0.01mm/m;对滑鞍座导轨的不垂直度≤0.02mm/250m;接触点要求12～14点/25mm×25mm。
床身平面导轨经检修后应达到以下精度要求：对V形导轨的不平行度≤0.02mm/m;垂直平面内不直度≤0.01mm/m;接触点要求12～14点/25mm×25mm。
2) 滑鞍座导轨的检测与修刮外
滑鞍座V形导轨经检修后应达到以下精度要求：垂直平面内不直度在全部长度上≤0.01mm;接触点要求10～12点/25mm×25mm。
滑鞍座平面导轨经检修后应达到以下精度要求：对V形导轨的不平行度≤0.02mm/m;接触点要求10～12点/25mm×25mm。
3) 砂轮主轴与轴瓦间的间隙调整
在砂轮主轴轴颈上涂色，与轴瓦转研，用刮刀刮研轴瓦表面，使接触点要求达到12～14点/25mm×25mm，然后进行安装调整，将砂轮主轴与轴瓦的间隙调整到0.0025～0.005mm，这样可避免磨削中工件产生棱圆。
4) 砂轮主轴电机与砂轮的平衡
砂轮主轴电机的振动对磨削表面粗糙度影响较大，所以需要对砂轮主轴电机进行动平衡。对砂轮则需进行两次平衡：首先用金刚笔修整砂轮后进行一次粗平衡;然后用油石或精车后的修整用砂轮对砂轮进行细修后再进行一次精平衡。
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