电化学超声波抛光法，简称电解超声抛光法。它是电抛光与超声波抛光两种抛光技术的组合抛光工艺。中国西安工业学院的对比工艺试验证明，这种组合抛光工艺可明显提高单用电抛光或单用超声波抛光的抛光效果。而且抛光后的表面只有一层很淡的灰色薄膜，比电抛光过程中形成的厚层色膜要轻微得多。若在复合抛光后，采用断开电解电路，单用超声波抛光法抛光数秒钟，即可完全除去氧化皮膜，获得光洁明亮的表面。
电解超声组合抛光法能获得明显抛光效果是由于：
（1）超声波抛光专用工具端部能及时迅速地除去制件表面凸峰处的氧化膜，加快电抛光反应。但这时并不需要提高电抛光的电压或电流，仍可使抛光表面处在钝化区内。
（2）在专用电解液中进行的超声波抛光，其工具端部会产生高频交变的液压冲击及空化作用，使抛光过程加快。
（3）超声波对电解液会产生较强的机械搅拌作用，使电解液在整个电解超声组合抛光过程中，始终处于均匀、稳定的状态。不存在极化现象，抛光作业的电参数不会受到影响，故可改善和提高抛光效果。
电解超声复合抛光法，可把较粗糙的制件表面快速抛光到Ra0.4μm左右，是一种颇具潜力的抛光加工新技术，尚待进一步地改进与完善。
