日本三菱重工微细激光加工机可实现小10μm开孔的激光加工

　　日本三菱重工机床公司将推出微细激光加工机“ABLASER”的新机型——采用第四高频波（波长266nm）深紫外（DUV）激光器的“ABLASERDUV”。新产品根据DUV激光器的特性改进了聚光光学系统的设计，在保持长焦点深度的同时缩小了集光直径，从而实现了微细化和高精度化。

　　

日本三菱重工微细激光加工机可实现小10μm开孔的激光加工机
 

　　ABLASER的特点是，可抑制高峰值输出功率下加工部分的升华对加工面的影响。与放电加工以及原来的激光加工相比，可获得更好的尺寸精度和表面平滑性。而且还可加工圆锥状孔及鼓状孔，可用于普通切削加工难以处理的高硬度材料及脆性材料的微细加工。
　　
　　另外，新机型还配备了可连续发射激光的短脉冲DUV激光振荡器。使用适合DUV激光器的透镜及棱镜，并组合可使激光器高速高精度旋转的光学头，实现了高精度高品质的微细加工。
　　
　　小加工直径方面，使用绿色激光器（波长532nm）的以往机型为50μm，而新机型为10μm。新机型的大深宽比为10。聚光斑形状接近正圆，可实现高精度的开孔加工。此外，DUV激光对多种材料的吸收率都很高，光能也很大，因此还可加工玻璃材料、化合物半导体材料等难加工材料。
　　
　　各轴的移动量为X300mm×Y200mm×Z100mm，配备A/C轴时为X100×Y100×Z100mm。定位精度为0.001mm，机身尺寸为宽2040×长2620×高2000mm。
　　
　　三菱重工机床将在“第28届日本国际机床展（JIMTOF2016）”（11月17～22日于东京有明国际会展中心举行）上展出这款新机型，并于当天开始销售。

 

（原标题：可实现小10μm开孔的激光加工机）