直流磁控溅射用于镀制金属膜及化合物膜，例如金、银、铝、钛、铬等，输出电压为直流，具有稳流功能，稳流精度高（达1%）。
| 品名 | 直流磁控溅射电源 | |
| 型号 | MSD系列 | |
| 相数 | 三相+N | |
| 电压 | 380V | |
| 频率 | 50Hz | |
| 输入方式 | 4线（含零线） | |
| 波形 | 直流 | |
| 功率 | 20kW~200KW（可定制） | |
| 电压 | 0—1200V（可定制） | |
| 稳定度 | ≤1% | |
| 电流 | 0—200A（可定制） | |
| 稳定度 | ≤1% | |
| 纹波及杂讯 | ≤5%或≤3% | |
| 效率 | ≥90% | |
| 标准方式：恒流 | ||
| 可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 | ||
| 标准方式：面板手动 | ||
| 可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) | ||
| 保护 | 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 | |
| 冷却 | 风冷或水冷 | |
| 防护等级 | IP21 | |
| 单元尺寸(W*D*H) | 箱体：440(W)X220(H)X560(D) （20KW风冷） 面板：482(W)X248(H) | |
| 重量 | 约30KG（30KW） | |
| 备注 | ||