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产品品牌:ZYGO
产品概述:ZYGO系列激光干涉测量仪,运用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,GPI系列激光干涉测量仪曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析.
GPI系列激光干涉测量仪,运用移相干涉原理,提供高精度的平面面形,球面面形,曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析。可应用于:
平面和球面的面形检测
平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差
光学材料均匀性测量
角锥角度和面形偏差测量
精密盘片质量检验
三平板测量
双球面测量
静态干涉条纹判断
泽尼克多项式分析
球面曲率半径测量
GPI系列高精度激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪,具有光学器件少,精度高,易于使用等特点。光源为低功率氨氖激光,光束扩展为1英寸(25mm)至32英寸(810mm)直径,自干涉仪输出。安装在输出孔之前的标准透射器件将部分激光反射回干涉仪,形成参考波面。余下激光穿过透射器至样品。根据光束在样品表面直接反射或透射后再反射回主机,形成测量波面。根据参考波面和测量波面干涉产生的干涉条纹,可以测量样品的表面面形和传输波面质量,样品为平面或球面。如果为非平面和非球面,则需通过加装补偿片等手段进行测量。
GPI系列干涉仪采用精密移相技术和高分辨率CCD接收器件(可达2048X2048),配合功能强大的MetroPro?软件可以
