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采用臭氧脱硝技术可得到较高的NOX脱除率，典型的脱除范围为70%～90%，甚至可达到95%，并且可在不同的NOX浓度和NO、NO2的比例下保持高效率；因为未与NOX反应的O3会在洗涤器内被除去，所以不存在类似SCR中O3的泄漏问题；除以上优点外，该技术应用中 SO2和CO的存在不影响NOX的去除，而臭氧脱硝也不影响其他污染物控制技术。徐州天蓝臭氧设备有限公司将LoTOx技术与自己研发的废气臭氧发生系统结合形成一体化的脱硫脱硝系统，用于锅炉厂、石油精炼厂中加热器、锅炉等的废气治理。经氧化后生成的N2O5通过洗涤器很容易与烟气中水分发生反应生成HNO3，然后再同洗涤剂生成盐类**通过洗涤清理排出系统外。具体的化学反应如下：
