激光干涉仪XD Laser激光干涉仪

XD激光干涉仪技术综述：

1D激光主要可以测量定位误差3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）

5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚

同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角。

设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器。

可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米。

可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。

设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架。

集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间。