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压电千分尺是指在手调千分尺的基础上集成压电定位运动平台, 手调千分尺可进行 13mm 行程的宏观调节,压电运动平台可进行 25μm 或 100μm 行程的纳米级微观调节,且千分尺的调节精度在压电运动平台的调节范围内,从而保证调节的便捷及精度。
特性:
·X 向运动,1至 3维自由组合 ·手调千分尺行程 13mm,分辨率达 10μm · 压电精调行程 100μm,分辨率达 2.5nm
·压电调节可选配应变传感器
压电千分尺是指在手调千分尺的基础上集成压电定位运动平台, 手调千分尺可进行 13mm 行程的宏观调节,压电运动平台可进行 25μm 或 100μm 行程的纳米级微观调节,且千分尺的调节精度在压电运动平台的调节范围内,从而保证调节的便捷及精度。
特性: ·X 向运动,1至 3维自由组合 ·手调千分尺行程 13mm,分辨率达 10μm · 压电精调行程 100μm,分辨率达 2.5nm
·压电调节可选配应变传感器