考夫曼离子源离子*应用于离子刻蚀

日本伯东株式会社，成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司系日本伯东株式会社在中国投资的全资公司，公司主要从事半导体设备、电子零部件等加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东企业（上海）有限公司的总部在上海，同时在中国的北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门都设有办事机构。

伯东企业(上海)有限公司真空产品事业部销售众多国际知名真空品牌，代理品牌包含：德国 Pfeiffe 全系列真空产品、美国 KRI 考夫曼离子源、美国 BROOKS  Polycold 制冷机，美国HVA真空阀门，美国 inTEST温度气流控制设备，日本 NS 离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为众多国际知名真空品牌指定授权代理商，负责在中国地区的销售同时提供完善的售后维修服务。公司在上海，深圳及厦门等全国重要区域都设有我们产品的销售和维修中心，可为广大客户提供全系列产品的维护及保养服务工作，****使用原厂进口零件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

伯东公司美国考夫曼离子源离子枪成功应用于离子刻蚀 (IBE)

伯东公司美国考夫曼离子源 离子枪Kaufma& Robinson, Inc (KRi) RFICP 成功应用于离子刻蚀(IBE).伯东公司是美国考夫曼大中国区总代理,Kaufma& Robinson,Inc 美国考夫曼公司离子源 离子枪RFCIP系列已广泛应用于离子刻蚀 (IBE) 工艺.考夫曼离子源具有高离子浓度 (High beamcues) 及低离子能量 (Low beam energies).此两个特殊条件对于刻蚀效率及刻蚀中避免伤害到工件表面材质可以达到优化.并且可以依客户之工件尺寸选择所对应之型号: RFICP40, RFICP100, RFICP140, RFICP200,RFICP300.

上海伯东主要经营产品：德国普发 Pfeiffer涡轮分子泵,干式真空泵,罗茨真空泵,旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空计,真空规管;氦质谱检漏仪,质谱分析仪,四级杆质谱仪;以及美国 HVA 真空阀门, Polycold冷冻机,Gamma 离子泵和美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪霍尔源

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