清洗技术介绍
等离子体处理作为一种新型的表面处理
技术
（plasmareatmen/ plasma cleaner / 等离子清洗),近几年来随着各行各业应用的不断深入，已逐渐被公众所熟知。然而，等离子技术本身并非一概而论，大同小异，不同的厂家之间，各自发展出了不同类型，不同功用的
等离子体技术
。大气压辉光等离子技术，不同于其它的等离子技术，因其独特的技术特点，在近五年内业已成为行业新的发展方向。
1.coronaplasma、glowplasmaandarcplasma
按照等离子的产生原理来区分，现在等离子技术可以分为corona（科罗娜）、glow（辉光）、arc（电弧）plasma三种类型。对于不同的类型，均发展出相关的应用。
为了对上述三种等离子类型有一个更直观的认知，我们通常采用直流电源作为激发能源构建等离子模型。不同的等离子技术专家与科研机构所构建的模型大同小异。在此，我们以美国普林斯顿等离子物理实验室的模型（StructureofaGlowDischarge）作为参考。如图1所示，X坐标轴表示电流值，Y坐标轴表示电压值。等离子是随着电压与电流的增加而产生并变换状态与特性。
中竖线将plasma曲线主要分为三段，从左至右依次是coronaplasma,glowplasma,,arcplasma.
1.1Corona等离子，也称电浆。
通常采用空气或者氮气（N2)作为发生气体。特点是气体的需求量非常高，使用氮气时一般需要配备专门的大功率氮气发生器，工业上常用RF射频作为激发能源，频率在40KHZ左右。等离子工作形态以炬式较为常见（产品如图2），条状放电模式使得表面处理后均匀性不高。设备工作过程中会产生超标的臭氧与氮氧化物等对人体有害的气体，必须要配套废气排放系统一同工作。因为上述特性，Corona等离子主要适用于对处理效果要求不高，并且后续运行成本低的行业（可使用空气），比如纺织业等。
1.2Glow等离子。
主要分为两种方式，即腔式与大气压式，此两种等离子技术均为直接式等离子。
腔式Glow等离子的特点是需要一个封闭的腔体，电极内置于真空腔体中，工作时首先用真空泵将腔体内空气吸出形成类真空环境，然后等离子在整个腔体中形成并直接对在内的材料进行表面处理。此种腔式等离子的处理效果要优于corona等离子。后续运行成本较高，主要原因是其真空泵连续工作的功耗较大。另外设备工作时在真空环节需要的时间较多，对采用自动化生产线及要求处理效率的工业领域来说，局限性较明显。
大气压辉光式等离子
大气压辉光式等离子
另一种大气压Glow(辉光）式等离子技术。RF射频作为激发能源，工作频率是13.56MHZ。采用氩气(Ar)作为发生气体，氧气或者氮气作为反应气体。该技术的特点是：1.均匀度高。大气压等离子是辉光式的等离子幕，直接作用于材料表面，实验证明，同一材料不同位置的处理均匀性很高，这一特性对于工业领域进行下一环节的贴合、邦定、涂布、印刷等制程十分重要。
2.效果可控。大气压等离子有三种效果模式可选。一是选用氩气/氧气组合，主要面向非金属材料并且要求较高的表面亲水效果时采用，比如玻璃，PETFilm等。二是选用氩气/氮气组合，主要面向各种金属材料，如金线、铜线等。因氧气的氧化作用，替换为此方案中的氮气后，该问题可以得到有效控制。三是只采用氩气的情况，只采用氩气也可以实现表面改性，但是效果相对较弱。此为特殊情况，是少数工业客户需要有限而均匀的表面改性时采用的方案。
3.安全易用。大气压式等离子，也是低温等离子，不会对材料表面造成损伤，例如对方阻值敏感的ITOFilm材质亦可处理。无电弧，无需真空腔体，也无需废气排放系统，长时间使用并不会对操作人员造成身体损害。
4.面积宽大。大气压等离子*大可以处理2m宽的材料，可以满足现有多数工业企业的需求。
5.成本低廉。大气压等离子设备功耗低，运行成本以气体为主。以主要消耗气体氩气为例，同corona等离子气体消耗量相比不足其1/20.
1.3Arc等离子