六氟化硫在常态下是一种无色、无臭、无毒、不燃、无腐蚀性的气态物质，化学性质稳定性强，具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，在油的击穿电压相等，中等压力、同样条件下电晕放电的起始电压是空气的2倍，是一种优于空气和油的新一代超高压绝缘介质材料，被广泛用于电气设备的断路器、组合器、变压器、大容量电缆、避雷器、X光机、离子加速器、示踪分析和有色冶炼等方面。高纯六氟化硫在半导体工业中，用作等离子刻蚀剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗**单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的渗加气体。在环境检测及其他部门用作标准气或配制标准混合气。
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