金属钣金松岗光纤激光chex-fq3015激光切割机

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更新	2020-07-19 16:59

深圳创恒星激光设备有限公司

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马习文

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详细说明

在精密视觉检测设备中，如硅片检测过程要求其运动系统具有较高的精度,实现其中的精密直线运动对整个复合运动平台至关重要.采用直线电机驱动的方式设计了一套精密直线运动平台,阐述了其机械系统和控制系统设计过程.实验结果和实际应用表明:本平台比目前采用滚珠丝杠驱动的直线运动平台具有更高的精度、更大的加速度、运行更平稳和更长的寿命等优点,可以完成硅片检测过程要求的运动,运动精度满足了应用场合的要求. (2)在数控加工行业中，传统的“旋转电机+滚珠丝杠”的传动形式所能达到的进给速度为30m/mi，加速度仅为3m/2s。直线电机驱动工作台，速度为传统传动方式的30倍，加速度是传统传动方式的10倍，可达10g；刚度提高了7倍；直线电机直接驱动的工作台无反向工作死区；由于电机传动惯量小，由其构成的直线伺服系统可以达到较高的频率响应。此外，在压力机、坐标测量机、水切割机、等离子切割机、快速原型机及半导体设备的X-Y工作台上直线电机都有应用。光学检测设备晶圆检测机性能直线电机旋转电机+滚珠丝杠精度(μm/300mm) 0.5 10 重复精度(μm) 0.1 2 速度(m/s) 5 1.5 加速度(g) ＞10 ＜1 静态刚度(N/μm) 70 ～270 90 ～180 动态刚度(N/μm)160 ～210 90 ～180 平稳性(%速度) 1 10 调整时间(ms)10 ～20 100 寿命(h) 50000 6000 ～10000 ※注:重复性的更高精度,可以由编码器更高分辨率来实现! 以下三款标准电机平台型号亦可为单轴平台；可以根据客户要求设计各种行程电机平台。1**的光束质量：聚焦光斑更小，工作效率更高，加工质量更好；
2、极高的切割速度：是同等功率CO2激光切割机的2倍；
3、极高的稳定性：采用世界**的进口光纤激光器，性能稳定，关键部件使用寿命可达10万小时；
4、极高的电光转换效率：光纤激光切割机比CO2激光切割机电光转换效率高3倍，节能环保；
5、极低的使用成本：整机耗电量仅为同类CO2激光切割机的20-30%；
6、极低的维护成本：无激光器工作气体；光纤传输，无需反射镜片，可节约大量维护成本；
7、产品操作维护方便：光纤传输，无需调整光路；

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