供应直流偏压电源

 
 
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更新 2025-01-05 20:02
 

中山市昊源电器设备有限公司

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详细说明

偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等。主要作用包括:被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火,明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。该电源输出波形为直流。

输入

输出

控制

控制方式

控制接口

外型

品名

偏压电源

型号

BD系列

相数

三相+N

电压

380V

频率

50Hz

输入方式

4线(含零线)

波形

脉冲

功率

10KW~100KW(可定制)

电压

0—1200V(可定制)

稳定度

≤1%

电流

0—100A(可定制)

稳定度

≤1%

纹波及杂讯

≤2%

效率

≥90%

标准方式:恒压/高低压切换

可选方式:恒流、恒压、恒功率可切换

标准方式:面板手动

可选方式:面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus)

保护

具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能

冷却

风冷或水冷

防护等级

IP21

单元尺寸

(W*D*H)

箱体:440(W)X260(H)X580(D) (20KW风冷)

面板:482(W)X280(H)

重量

30KG(20KW)

备注

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