偏压电源主要用于多弧离子镀膜、磁过滤电弧离子镀膜、直流磁控溅射镀膜、非平衡磁控溅射镀膜和孪生靶中频磁控溅射镀膜、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等。主要作用包括:被镀工件表面的辉光放电清洗、镀膜前的离子轰击、镀膜时的离子加速等。合理选用偏压电源可以有效地抑制工件表面打火,明显提高镀件的成品率、表面光洁度和膜基结合力。该电源输出波形为直流。
品名 | 偏压电源 | |
型号 | BD系列 | |
相数 | 三相+N | |
电压 | 380V | |
频率 | 50Hz | |
输入方式 | 4线(含零线) | |
波形 | 脉冲 | |
功率 | 10KW~100KW(可定制) | |
电压 | 0—1200V(可定制) | |
稳定度 | ≤1% | |
电流 | 0—100A(可定制) | |
稳定度 | ≤1% | |
纹波及杂讯 | ≤2% | |
效率 | ≥90% | |
标准方式:恒压/高低压切换 | ||
可选方式:恒流、恒压、恒功率可切换 | ||
标准方式:面板手动 | ||
可选方式:面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) | ||
保护 | 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 | |
冷却 | 风冷或水冷 | |
防护等级 | IP21 | |
单元尺寸 (W*D*H) | 箱体:440(W)X260(H)X580(D) (20KW风冷) 面板:482(W)X280(H) | |
重量 | 30KG(20KW) | |
备注 |