UV光解的内部构造一般是隔网和紫外线灯管，隔网的作用主要是防止异物进入灯管的区域从而防止灯管被粘脏，而导致效果变差。而UV光解灯管区就是作用区域，灯管会发出紫外线C波段射线，产生臭氧，并使废气得到氧化分解。
如果废气中的湿度过大，那么首先会将隔网的棉堵塞，使过风量变少。其次，过大的湿度会影响臭氧对废气氧化分解的效果。另外湿度高会使得运行发热的光管破裂，这会使UV灯管烧坏，UV灯管的头部会出现生锈现象，长期过高的湿度会加快机箱内部生锈。大大降低了UV光解的使用寿命。
怎样的湿度才叫过大呢？我们要先观察一下进入UV光解的废气，这时UV光解的电源不要打开，不然紫外光会烧伤人，如看到肉眼可以见到的水雾，如果隔网上手摸到湿水滴、或机箱内有水滴、露珠的现象就叫做湿度过大了。