该探针台的承载台为6060不锈钢台面，台面*高可升温到*高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测
| 真空腔体 | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 |
| 上盖开启 | 铰链侧开 |
| 加热台材质 | 304不锈钢 |
| 内腔体尺寸 | φ16090mm |
| 观察窗尺寸 | Φ70mm |
| 加热台尺寸 | φ60mm |
| 观察窗热台间距 | 75mm |
| 加热台温度 | 35-350℃ |
| 加热台温控误差 | ±1℃ |
| 真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允许正压 | ≤0.1MPa |
| 真空抽气口 | KF25真空法兰 |
| 气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
| 电信号接头 | SMA转BNC X 4 |
| 电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
| 探针数量 | 4探针 |
| 探针材质 | 钨针 |
| 探针尖 | 10μm |
| 探针移动平台 | |
| X轴移动行程 | 30mm±15mm |
| X轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Y轴移动行程 | 13mm±12.5mm |
| Y轴控制精度 | ≤0.01mm |
| Z轴移动行程 | 13mm±12.5mm |
| Z轴控制精度 | ≤0.01mm |
| 电子显微镜 | |
| 显微镜类别 | 物镜 |
| 物镜倍数 | 0.7-4.5倍 |
| 工作间距 | 90mm |
| 相机 | sony高清 |
| 像素 | 1920※1080像素 |
| 图像接口 | VGA |
| LED可调光源 | 有 |
| 显示屏 | 8寸 |
| 放大倍数 | 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，*小可分辨0.08mm |