多种气体混合配比器 流量控制器

 
 
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更新 2025-01-06 14:11
 

郑州科探仪器设备有限公司

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详细说明

nsize="5"> 质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。七星流量计研发精度高、响应时间快的模拟产品。

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特点

• 高精度,快响应型• 橡胶密封、模拟电路的MFC• 采用DB15型电插头,国际标准机械接头• 国际兼容

技术参数

流量规格

项目

D07-19B

D07-19BM

D07-19F

D07-19FM 型

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

0~1,2,3,5,10,20,30 SLM

准确度

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±1% F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

线性

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)

±0.5% F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)

重复精度

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

±0.2 % F.S.

响应时间

≤2 sec

≤2sec

≤4 sec

≤4 sec

工作压差范围

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)
>10SLM: 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)

-

气压降

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

-

<0.02 MPa (2.9 psid)

最大工作压力

1 MPa

1 MPa

1 MPa

1 MPa

耐压

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

3 MPa (435.1 psig)

10 MPa (1450.4 psig)

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

4~20 mA 或 1~5 VDC

4~20 mA 或 1~5 VDC

电源

+15 V 50 mA
-15V 200 mA

+15 V 50 mA
-15 V 50 mA

24 VDC 100 mA

24 VDC 100 mA

重量

0.95 kg

0.7 kg

1.2 kg

1 Kg



nsize="5">产品用途

nsize="5"> 气体配比器主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境.控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加

nsize="5">该气体配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

nsize="5">

nsize="5">1.半导体制造行业中气体流量控制

nsize="5">2.各种真空镀膜设备

nsize="5">3.特种材料表面处理

nsize="5">4.气体燃烧控制

nsize="5">5.混和配气系统

nsize="5">6.泄漏探测系统

nsize="5">7.环境与分析设备

nsize="5">8.分析仪器的气体流量计量与控制

nsize="5">9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体和控制的场所

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