微小气体质量流量计微量气体质量流量计
MC-1900L 气体质量流量控制器
◆ 流量可覆盖2sccm-5000sccm非腐蚀性气体(相对于N2)◆ 兼容RS485和模拟通讯模式,通讯模式及协议◆ 杰出的**性 ≤ ±0.25%F.S及多气体多量程选择◆ ****的响应时间及稳定性规格MC-1900LFull Scale Range (N2 Eqv)单气体2-5000sccmCotrol Valve Type 阀门类型常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)Fiing接头1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容IGS 底部/表面贴装(c或w密封)Seals 密封橡胶 VitonRespose Time 响应时间≤1Sec(超过满量程10%)Accuracy**性25%-****:≤±1%S.P (满量程25%到****)2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)Linearity 线性度≤ 满量程的±0.5%Repeatability 重复性≤ 满量程的±0.2%Differeial Pressure 压差7 - 40psiLeak legrity 漏率Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)Cotrol Range 控制范围满量程的2-****Max Operating Pressure **操作压力70psiProof Pressure 承受压力**值140psiCommunicatioType 通讯模式模拟0-5V / RS485InpuPower输入功率+15VDC ±2% a100mA-15VDC ±2% a200mACommand Signal 输入模拟信号模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/数字信号 0-****OutpuSignal 输出模拟信号模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/数字信号 0-****Power Cosumptio功耗4.5WTemperature Range 温度范围5-45 Deg CMaterials 材料316LSS,316SS,PTFEWeigh重量0.9kg