智能供气CVD 实验室小型CVD系统 真空管式炉

产品型号

KT-C3Z

产品类型

高精度型/快速响应型/智能控制 触摸屏控制

可选量程

20sccm-10slm

产品精度

±1％F.S

重复精度

±0.2% F.S

线性

±1% F.S.

响应时间

≤4sec

工作温度范围

(5~45)°C

供电电源

~85-265VAC 50/60Hz

*功耗

40W

进气口压

≤0.6MPa

连接管道

φ4-6mm316不锈钢管道

截止阀类型

电磁阀

单向阀开启压力

压力显示量程

控制方式

7寸触摸屏智能调节

时间设定

0-99999

清洗功能

一键清洗

数据导出

无

程序控制

5段可编程序(时间-流量随意设定值)

压力显示

有（出气压力检测）

气体缓冲罐

有

流量累计

有（累计当前运行总流量）

可选进出气口接头形式

3MM 6MM 1/8mm 1/4mm双卡套接头

抗电磁干扰

无

外形尺寸

460210480

重量

18KG