卓显智能高倍率工具显微镜ZEX-4030G晶圆测量检查

 
 
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更新 2025-01-06 15:17
 

苏州卓显智能科技有限公司

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详细说明

工具显微镜

工具显微镜是一种以光学(显微镜)瞄准和坐标(工作台)测量为基础的机械式光学仪器,可用于测量各种长度和角度,是电子、金属材料、矿物、地质、精密工程等检查、分析及研究的仪器。产品广泛应用于PCB、FPC、电子、金属材料、精密工程等

产品特点∶

◆无限远光学系统,校正各类色差

◆无限远平场消色差长距物镜

◆程控LED冷光源(表面光及轮廓光),可实现编程批量检测时自行调节光源强弱

◆三轴均采用精密丝杆传动,无间隙,重复性比行业内常用光杆更高,寿命更长

◆3D OPTICS实现图像2D测量,增加Z轴数据标注与保存

◆采用全闭环控制,既保证定位精度,又能保证重复精度

技术参数:

影像测量系统

测量范围(mm)

工作台

光学部分

其他

型号

ZEX-4030

光学系统

无限远平场色差校正系统

载物台行程(mm)

400*300*100

仪器重量(kg)

140

X

300

Y

200

Z

100

光栅分辨率

0.0001μm

测量精度(μm)

X、Y线性精度:(1.6+L/200);X、Y矢量精度:(2+L/200);Z轴对焦精度≤0.002mm(10X及以上物镜)

大理石台面

470*370

玻璃台面

338*238

承重

25kg

CCD

日本SENTEHC彩色相机(可选配高清HDMI工业相机)

光学系统

无限远光学系统

目镜

N-WF10X/20

长距物镜

5X

10X

20X

50X

100X(选配)

照明光源

12V 50W卤素灯同轴落射照明+LED透射照明

工作电源

220V±10%(AC) 50Hz (注:需有电阻≤4Ω)

工作环境

温度:18~24℃、相对湿度:30~75%、远离振源

 

 

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