CL-6中端探针台森东宝科技CL-6超高性比晶圆测试探针台气敏分析检测探针台特点 |
同轴驱动CHUCK |
可以升级做射频测试 |
20X~4000X 光学显微放大 |
无后座力移动 |
可以选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置 |
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规格 |
真空吸附型Chuck | 6" 不锈钢 |
Chuck X-Y轴行程 | 6" x6" |
Chuck 旋转角度 | 0~360 度 |
Chuck升降 | 4mm |
针座平台 | 可以放置8个针座 |
显微镜X-Y轴行程 | 2" x2" |
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需求 |
电力 | 220 VAC, 60Hz |
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真空 | -250 mmHg, 7 liter/mi |
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尺寸 |
920mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜) |
重 100 Kg(带显微镜) |
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可选附件 |
激光切割 |
探针卡夹具 |
加热台 |
高低温样品台 防震桌 |
显微镜气动升降装置 |
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 |
光强/波长测试接口部件 |
射频测试探头和线缆 |
有源探头 |
低电流/电容测试 |
高压测试 |
CCD视频系统 |
液晶漏电分析套装 |
黑箱 |
大电流测试套件 镀金Chuck |
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