u高精度大理石底座 立柱及工作台。
u台湾上银精密直线导轨，高稳定性、高精度及高耐用性。
u彩色工业级600TV线高清CCD。
u可程控四杯八区LED表面光，直轴轮廓光（可选配同轴光）。
u精密光学尺0.001mm。
u手动变倍卡位镜头，变倍后不需要校正
u自主研发功能强大的自动测量软件，可手动编程测量。
技术规格
D型：Z轴电动电脑控制 可以自动对焦 测量高度，深度，平面度T型：选配接触测头组
| 仪器型号 | QS3020 QSD3020 | QS4030 QSD4030 | QS5040 QSD5040 | QS6050 QSD6050 | |
| 仪器参数 | |||||
| 测 | X | 300 | 400 | 500 | 600 |
| Y | 200 | 300 | 400 | 500 | |
| Z | 150 | 150 | 150 | 150 | |
| 工 | 大理石台面 | 570*355 | 670*460 | 770*560 | 870*660 |
| 玻璃台面 | 354*254 | 459*359 | 549*439 | 649*539 | |
| 玻离/大理石承重 | 50kg/100 | 50kg/100kg | 50kg/100kg | 50kg/100kg | |
| 影 | Z轴(D型机) | 全电脑控制，可自动对焦，测量高度，深度，平面度 | |||
| CCD | 高分辨率彩色摄像机600TV线 | ||||
| 变焦物镜 | 手动变倍卡位镜头0.7－4.5X | ||||
| 视频放大倍率 | 30－180X（显示器19寸） | ||||
| 工作距离 | 82mm | ||||
| 显示分辨率 | 0.0001mm | ||||
| 重复性 | 2μm | ||||
| 线性精度(μm) | XYZ轴≦(2.8+L/200)um,Z轴≦(5+L/200)um | ||||
| 外形尺寸（mm) | 950*650*1700 | 1100*750*1700 | 1250*850*1700 | 1400*950*1700 | |
| 仪器重量(kg) | 230kg | 320kg | 390kg | 470kg | |
| 照明 | 可程控四环八区LED表面光及轮廓光 | ||||
| 电源 | 220V±10%(AC) 50HZ | ||||