电子显微镜主动防震台,扫描隧道显微镜STM主动防震台,扫描探针显微镜SPM防震台,半导体设备主动防震台,激光设备防震台.....
用途：用于消除或降低地表附近震动源产生的震动，从而消除或减少由于地表震动(包括附近建筑和设备所产生的震动)传导入精密测量设备而引起的震动干扰，保证精密测量设备的运行环境和工作状态
应用：
光学显微镜
原子力显微镜AFM
电子显微镜（EM），包括扫面电子显微镜SEM，透射电子显微镜TEM
扫描隧道显微镜STM
扫描探针显微镜SPM
聚焦离子束系统FIB
双电子束系统DualBeam
半导体设备
光刻机
晶圆探测器
电阻拓展测试系统
激光设备
光通信设备......
性能：
主动防震自由度：6维
主动防震频率：0.5～100Hz
防震性能：-8dB gaia1Hz；-20dB gaia2Hz
Seing Time：<=0.1Sec
售后服务优势：
1、系统内置实时诊断工具
2、系统内置实时性能调整工具