nface="楷体" size="4">主动减震台/减振台
nface="楷体" size="4">品牌:HERZ
nface="楷体" size="4">型号:AVI-400-S
nface="楷体" size="4">描述:AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统,有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。AVI系列可在宽频率范围内进行隔振,为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。
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nface="楷体" size="4">适用于各类大型电子显微镜AEMSEMATMTEM,干扰仪防震台,轮廓仪防震台,电子太平防震台,超快激光系统防震台,时频系统防震台,大型半导体设备防震台,激光设备主动防震!
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nface="楷体" size="4">产品亮点:
nface="楷体" size="4">六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振) 5-20ms响应时间 低频隔振性能优异,安装和使用简单
nface="楷体" size="4">系统主动检测输入振动并动态消除
nface="楷体" size="4">紧凑、模块化的多功能设计
nface="楷体" size="4">稳定性高,能无故障连续使用多年
nface="楷体" size="4">无低频共振、无空气要求
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nface="楷体" size="4">应用范围:
nface="楷体" size="4">超高真空扫描探针显微镜(UHV-SPM)
nface="楷体" size="4">光刻工具
nface="楷体" size="4">高精度计量工具
nface="楷体" size="4">光谱仪器
nface="楷体" size="4">升级选项:
nface="楷体" size="4">可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果,隔振频率低频段延伸至0.5Hz。
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nface="楷体" size="4">技术参数:
nface="楷体" size="4">型号:AVI-400M/LP
nface="楷体" size="4">系统配置:独立隔振装置 & 控制装置
nface="楷体" size="4">主动隔振范围:大致为1.0 Hz - 200 Hz
nface="楷体" size="4">被动隔振范围:大致为200 Hz以上
nface="楷体" size="4">显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
nface="楷体" size="4">LEDs 指示输出阶段的过载情况。
nface="楷体" size="4">单元尺寸(每个):190 x 720 x 112.5 Hmm
nface="楷体" size="4">控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm
nface="楷体" size="4">隔振单元重量: 20kg
nface="楷体" size="4">负载能力:800 kg (同等/低重心)
nface="楷体" size="4">输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
nface="楷体" size="4">功耗:通常18W
nface="楷体" size="4">温度范围:5℃ - 40℃
nface="楷体" size="4">相对湿度:10 - 90 % (5 - 30 ℃)・10 - 60 % (30 - 40 ℃)
nface="楷体" size="4">室内/室外使用:仅用于室内
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nface="楷体" size="4">隔振效果:
nface="楷体" size="4">性能对比图:SEM的研究人员在两种独特条件下进行成像:不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时,所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。
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nsize="5">主动减震台/减振台提供样机试用
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