CGO高低温真空探针台
CINDBEST CGO系列极高/低温真空环境探针台，开/闭循环制冷，标配控温范围：4.2K-480K，另可以根据客户需求订制。
低温和高温真空探针台 CINDBEST真空环境高低温测试技术 以下两个应用需要真空测试环境。 极低温测试: 因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。 高温无氧化测试： 当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。 晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，CINDBEST针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。 SCG-C-4(闭循环)/SCG-O-4(开循环)特点： |
载物Chuck 温度范围：4.2K-480K 外置4个定位针臂 探针X-Y-Z三方向移动，行程：25mm，定位精度：10微米 最多可以外置6个定位针臂 载物chuck **可到2寸 双屏蔽chuck高低温时达到100FA 的测试精度 针臂定位精度可以升级为0.7微米 极限真空到10-10 tor 可以选择射频配件做**67 GHz的射频测试 可以选择防震桌 可以选择超高真空腔体 客户订制 |
温控规格: 控温范围 | 4K-480K | 控温精度 | 0.1K | 温度稳定性 | 4 K + - 0.2 K | | 77 K + - 0.1 K | | 373 K + - 0.08 K | | 473 K + - 0.1 K | | 823 K + - 0.2 K(可选) | | 973 K + - 1.0K(可选) | 常温到8K冷却时间: | 1小时40分钟 | 8K到常温升温时间: | 1小时30分钟 | 从常温开始的升温时间 | 200 ℃ 550℃ 700 ℃ | (4 chuck，单位分：秒) | 1:00 1:30 2:00 | 电源 | 直流 | 材质 | 不锈钢 | 功率(4chuck) | 850W |
机械规格 针座行程 | X轴方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以选择50.8mm | Y轴方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以选择50.8mm | Z轴方向 | 25.4mm(1 inch) | | 可以选择50.8mm | 移动精度 | | X轴方向 | 10 micro | | 可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micro | Y轴方向 | 10 micro | | 可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micro | Z轴方向 | 10 micro | | 可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micro | 探针可旋转角度 | +-5 度 | | |
光学部件规格 显微镜X-Y轴方向行程 | 2"*2" | | 可以选择4"*4" | 总共放大倍率 | 240X | | 可以选择更高倍率 | 真空腔观察窗口 | 2 inch | | 外部石英材质99%红外线穿过率 | | 内部吸收红外线仅可见光通过 | 光源 | 150W可连续调节 双光纤导引 |
可选附件 防震桌 方形chuck 分子泵组 射频部件 Chuck可外部移动装置 客户定制。 |
