同轴驱动CHUCK
可以升级做射频测试
20X~4000X 光学显微放大
无后座力移动
可以选择显微镜倾仰装置或者气动升降装置
真空吸附型Chuck 6" 不锈钢
Chuck X-Y轴行程 6" x6"
Chuck 旋转角度 0~360 度
Chuck升降 4mm
针座平台 可以放置8个针座
显微镜X-Y轴行程 2" x2"
需求
电力 220 VAC, 60Hz
真空 -250 mmHg, 7 liter/mi
尺寸
920mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜)
重 100 Kg(带显微镜)
CCD视频系统
液晶漏电分析套装
屏蔽箱
大电流测试套件
镀金Chuck
可选附件
激光切割
探针卡夹具
加热台
高低温样品台
防震桌
显微镜气动升降装置
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测
光强/波长测试接口部件
射频测试探头和线缆
有源探头
低电流/电容测试
高压测试