设备型号 | KT-Z2DQX | KT-S2DQX | KT-Z5DQX |
控制方式 | 7寸触摸屏人机界面 | 7寸触摸屏人机界面 | 7寸触摸屏人机界面 |
供电电源 | AC220V（AC110V可选) | ||
工作电流 | 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) | ||
射频电源功率 | 1000W | 150W | 300W |
匹配方式 | 自动匹配 | 手动匹配 | 自动匹配 |
清洗频率 | 40KHz | 13.56MHz | |
耦合方式 | 电容耦合 | ||
工作真空 | ≤50Pa | ||
腔体材质 | 高纯石英 | ||
腔体容积 | 2L(内径110MMX深度220MM) | 2L(内径110MMX深度220MM) | 5L(内径160MMX深度310MM) |
观察窗内径 | Φ50 | Φ50 | Φ70 |
气体流量 | 0-300ml/min（热式质量流量传感器X2个） | ||
真空计量程 | 1E5Pa至1E-1Pa（皮拉尼真空计） | ||
过程控制 | 手动/自动切换 | 手动/自动切换 | 手动/自动切换 |
清洗时间 | 自动开关 | ||
开盖方式 | 铰链侧开式法兰 | ||
外形尺寸 | 150*500*250mm | 450*460*370mm | 530*580*420mm |
重量 | 20kg | 35kg | 40kg |
真空室温度 | 小于65°C | ||
冷却方式 | 强制风冷 | ||
标配 | KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。 | ||
