设备简介：
本系统主要包含多温区高温加热系统、进出气控制系统、电动开盖系统、自动进液系统、PLC自动化控制系统及物料收集系统。
大尺寸碳化硅炉管及高达1380℃的最高工作温度，可极大提高生产效率并适配更广泛的应用领域。
1、六温三控加热系统，温场分布更均匀；
2、高纯硅碳棒加热，最高工作温度1380℃，可满足更多CVD领域需求；
3、六路质量流量计(MFC)气体控制，同时设置有真空系统配合进出气系统使用，可以实现自动抽真空-补气循环流程，以最快的速度排空腔体内部的氧气；
4、电动开盖系统，方便炉管的维护及更换；
5、4.3英寸彩色触摸液晶屏，并支持多种工作模式的高精密注射泵，可以根据客户需要选择不同容积的针管进行试样的注射；同时可以跟随工艺曲线设置注射泵的开关，无需后期的人为操作，操作方便性大大提升；
6、PLC自动化控制系统集成了设备上所有的控制，包含加热和各种动作都能够在屏幕上进行操作，并且能够跟随工艺曲线设置不同的进气和流量的设置，可以实现不同工艺下的快速组合，并且支持数据导出及预存和调用配方功能。