1700℃ CVD管式炉系统

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产品名称

1700型三路气体配比器CVD管式炉系统

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常规型号

NBD-T1700-60IT150-D3ZHZ

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NBD-T1700-80IT150-D3ZHZ

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炉膛模式

立体式

5

显示模式

7英寸触摸屏(LCD)

6

炉膛材料

进口纤维

7

加热元件

进口合金加热丝

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极限温度

1600℃

9

工作温度

≤1550℃

10

升温速率

≤20℃(建议:10℃/min)

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加热温区

单温区

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温区长度

440mm

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恒温区长

200mm

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炉管材质

高纯刚玉

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炉管常规直径

50mm

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60mm

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炉管长度

800mm

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密封方式

不锈钢真空法兰

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气 密 性

真空法兰和石英炉管的气密性**可达4.03×10-3Pa

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控制模式

智能PID多段程序控温

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控温精度

±1℃

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温度曲线

30段"时间—温度曲线"任意可设

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预存曲线

可预存10条温度曲线

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超温报警

有

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过流保护

有

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断偶提示

有

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测温元件

B型热电偶

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电气认证

CE认证

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供电电源

220V 50Hz～60Hz

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整机功率

3KW

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气体通道

可连接3种气源

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流 量 计

浮子流量计

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A路量程

100SCCM

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B路量程

200SCCM

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C路量程

500SCCM

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气路压力

-0.1～0.15 MPa

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系统真空 

5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置）

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售后服务

12个月质保，终身保修

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包装形式

多层胶合板包装箱

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随机配件

石英炉管、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、厚壁硅胶管、5mm内六角扳手。

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整套尺寸

左右：860mm；前后：480mm；高度：1360mm