长治净化车间-青岛汇众达净化

nface="宋体" size="4">长治净化车间-青岛汇众达净化

nface="宋体" size="4">     青岛汇众达净化设备有限公司是一家专业从事空气净化工程及设备研发、设计、制造、安装、维护于一体的高新科技企业，业务遍及食品饮料、日用品化妆品、光电光学、医院工程、生物工程、实验室等产业领域。净化车间

nface="宋体" size="4">汇众达与您分享电子无尘车间净化工程设计施工要求：

nface="宋体" size="4">    电子无尘车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室，电子无尘车间净化工程对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，电子无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

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nface="宋体" size="4">    根据电子无尘车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型：循环空调机配合高效送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。

nface="宋体" size="4">     FFU循环系统的特点是：整个洁净室由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由FFU提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过超高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。此外，还有生产辅助区为集成电路制造厂务设备区域，包括电力供应、气体和化学品供应、超纯水供应等。集成电路制造对电子无尘车间环境的控制有较为严格的要求。不同的工艺制程对洁净度的要求也各不相同，例如光刻要求在1级的微环境下，净化车间设计施工，而化学机械研磨则只要求1000级的环境即可。

nface="宋体" size="4">    另外，集成电路制造洁净厂房对噪声、微振、照度等都有相关的规定和要求，尤其是振动的控制，在洁净室的建筑结构设计上就要有所要求。

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