激光尺TM
激光尺是光栅干涉尺，用于检测主尺位移引起的反射光束相位的变化。在读数头中，半导体激光光束经偏振光分光器分成二束光，然后进入主刻尺即一个衍射细光栅，由于光栅的衍射，光束相互产生干涉。将干涉条纹引起的黑白变化转变成电信号，并进行计数，从而得到主尺的位移量。极小的光学镜头不受光源波长变化的影响，也不受主尺在测量方向以外的其它方向上位移的影响，因此测量精度高，传感器非常稳定，即使有空气流动，温度、大气压的变化情况也是这样。由于激光尺采用了衍射光栅中的体积全息，衍射效率高，其结果是得到正弦电信号，周期为0.1379μm，信噪比极佳。接收器(检测器)单元对信号进行电气细分(内插)，其原始信号达到了世界最高分辨力，即产生位移信号的分辨力从0.1μm提高到了0.07nm。
磁尺
由磁主尺和磁感应头组成，能以高精度和高分辨力来检测直线位置和回转角度大小。主尺由直径为1.2mm和2mm的铁磁合金棒（杆）或上面录有磁分度刻线间距为0.2mm的硬磁性材料带组成。使用专用记录磁头和激光测量机，可以使分度刻线做到非常精确。磁通感应测头检测到主尺上的磁化模态，得到对应于位移的信号，由检测头得到的0.2mm节距的模拟量信号，通过电气细分，并转化为数字信号，以用于测量和控制，分辨力达1μm或0.1μm。
高精度磁尺
其特点是有一层专门的磁性涂层介质和按Sony专利模态排列的磁阻(MR)元件，磁栅主尺的磁性涂层介质是新开发的材料和其它多种Sony磁技术的综合。它的显微磁性颗粒能满足短波长、高输出的录磁性能要求。采用光刻技术制成的传感器模态能高精度、稳定的检出信号，产生精确的信号读数。该原始的传感器模态保证了高质量、稳定的获取信号，满足了更高精度的要求。依靠Sony专有插值技术，高响应速度、高内插值和信号补偿功能的信号处理技术及插值电子线路，系统获得了高精度的插值。
光栅尺
由主尺和具有不同刻划周期的标尺组成，置于光源和光电转换器之间，用以产生莫尔条纹。标尺光栅在长度方向上的位移引起莫尔条纹在纵向的移动，莫尔条纹的变化由光电转换器按电流检测出来，经放大和电气细分变成数字信号，其分辨力高于主尺的刻划间距，以用于测量和控制。
数字刻尺
由带状磁性材料和读数头组成，采用了Sony专有的磁阻元件(铁磁的磁阻薄膜)能在磁通发生很小变化时产生稳定的高输出信号。产生信号细分并转变为数字信号，分辨力比录磁分度更高，用于测量和控制。
