双传感器激光测头

    LMI Technologies公司开发的大范围双传感器激光测头（LTS）可对物体位移或高速运动（频率可达200kHz）的物体轮廓进行跟踪测量。该测头在平均测量速度频率为100Hz时，可测出小至0.007μm的厚度变化量，测量精度可达微米级。该测头的激光光斑直径尺寸为70μm，观测角25°，投射角1.18″。利用双传感器，可对被测物体的颜色变化及表面差异进行自动补偿。由于该测头的测量范围较大，因此测量柔性较好，适合检测需要较大测量空间的快速移动物体。