随着工业机器人的发展，机器人在测量中的应用也越来越受到重视。机器人测量具有在线、灵活、高效等特点，可以实现对零件100％的测量。因此，特别适合于自动化制造系统中的工序间和过程测量。同坐标测量机相比，机器人测量造价低，使用灵活且易入线。机器人测量分直接测量和间接测量，直接测量称为绝对测量，是由机器人参与测试和数据处理，它要求机器人具有较高的运动精度和定位精度，因此造价也较高。间接测量也称辅助测量，特点是在测量过程中机器人坐标运动不参与测量过程，它的任务是模拟人的动作将测量工具或传感器送至测量位置，由测量仪器完成测试和数据传输过程。间接测量对传感器和测量装置要求较高，由于允许机器人在测量过程中存在运动或定位误差，因此，传感器或测量仪器应具有一定的智能和柔性，能进行姿态和位置调整并独立完成测量工作。测量机器人可以是一般的通用工业机器人，如在车削自动线上，机器人可以在完成上下料工作后进行测量，而不必为测量专门设置一个机器人，使机器人在线具有多种用途。由于机器人测量具有在线、灵活、高效等特点，特别适合于FMS中工序间和过程测量，在FMS中已得到广泛的应用。
