三维超微细加工机床

    日本东京仪表自动化公司开发出利用5ento秒激光的三维超微细加工机床。这种加工机床由于照射部位几乎不存在热变化，因此，可进行高精度加工，不会损伤玻璃或硅片等被加工物体，也不会产生毛刺。加工孔的精度在20nm以内，与过去的加工方法相比，精度提高了一个数量级。5ento秒激光与YAG激光相比，照射时间大幅度缩短，在实行微细加工过程中，不会损伤被加工物体。