美国Brown & Sharp公司的ACTIV三坐标测量机具有在机床群中对首件工件、夹紧工装进行检测的功能。该机的温度传感器网络和温度补偿软件可根据温度变化进行自适应补偿，防止车间环境温度及其变化对测量精度的影响。英国LK公司、日本三丰公司的三坐标测量机采用了花岗岩工作台、工业陶瓷(或碳纤维)材料的横梁和主轴。意大利的Coord 3(融入了DEA技术)和我国北京303所的三坐标测量机则以铝合金结构为特色。先进材料的应用使仪器在工作现场工况条件下具有良好的温度稳定性和抗时效应变能力，能长期保持几何精度，且具有运动特性好、抗锈蚀等优点。基于DMIS编程的CAI(计算机辅助测量)软件包可与CAD系统联接，将工件模型直接输入仪器并控制仪器完成相应测量工作。
